Die Qualitätskontrolle industrieller Produkte und Prozesse gewinnt infolge eines erhöhtenWettbewerbseine immer größere Bedeutung. Dabei besteht derWunsch nach einer 100 %-igen Kontrollewährend des laufenden Fertigungsprozesses insbesondere bei Hochpreisprodukten odersicherheitsrelevanten Anwendungen. Hieraus erklärt sich ein steigendes Interesse an Methodender zerstörungsfreien Prüfung, die bisher genutzte zerstörende Messungen an Stichproben ersetzen.Der Bereich der zerstörungsfreien Prüfung ist historisch aus der Nutzung von Röntgen- undUltraschallsystemen entstanden. Im Laufe der Jahre kamen neue Verfahren, wie beispielsweiseThermografie und Laser-Speckle-Interferometrie (Electronic Speckle Pattern Interferometrieund Shearografie), zu den etablierten Techniken hinzu. Auch diese Verfahren werden heute nochständig weiterentwickelt, um die Grenzen in der Anwendbarkeit für bestimmte Problemstellungenzu durchbrechen. Die bisherige Entwicklung zeigt, dass zum jetzigen Zeitpunkt noch nichtfür alle messtechnischen Problemstellungen ein geeignetes zerstörungsfreies Prüfverfahren vorhandenist.Terahertz-Systeme bieten die Möglichkeit, den Werkzeugkasten der zerstörungsfreien Prüfverfahrenzu erweitern und Messaufgaben zu adressieren, die den etablierten Verfahren verschlossenbleiben. Hierzu bedarf es aber zum einen einer Weiterentwicklung vom Laborgeräthin zur industrietauglichen Anlage. Dabei standen im Rahmen dieser Arbeit die Reduzierungder Systemkosten und Erhöhung der Messgeschwindigkeit bei bildgebenden Untersuchungenim Fokus der Betrachtung. Zum anderen ist eine systematische Suche nach geeigneten Anwendungenerforderlich, in denen THz-Systeme Informationen über eine Probe liefern können,die anderen zerstörungsfreien Verfahren verborgen bleiben. Daher wurden in der vorliegendenArbeit neue Anwendungen wie beispielsweise die Bestimmung der Faserorientierung in Kunststoffenuntersucht.